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AVR-2000 진공 로봇 시스템은 극도로 청결하고 진공 공정 환경에서 매우 정확하고 신뢰성 있는 수송을 제공합니다.
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AVR-3000 진공 로봇 시스템은 극도로 청결하고 진공 공정 환경에서 매우 정확하고 신뢰성 있는 수송을 제공합니다. AVR-3000은 10E-10 Torr까지 작동가능하다.
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AVR-3600 진공 로봇 시스템은 극도로 청결하고 진공 공정 환경에서 매우 정확하고 신뢰성 있는 수송을 제공합니다.
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AVR SMV 3000은 10E-10 Torr까지 진공 공정 자본설비에서 정확하고 신뢰성 있고 반복 가능한 웨이퍼 수송을 제공하는 고성능 이중-팔 진공 로봇입니다.
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GPR-GB9 진공 로봇 시스템은 Genmark GPR™의 정확수송 로봇의 최신 시스템이며 수직 스트로크 옵션은 3” 및 6”이 가능 합니다.
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GPR-SMV 진공 로봇 시스템은 Genmark의 획기적인 GPR™ 특허 기술을 채택한 고성능 이중 팔 진공 로봇입니다.
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GPR™ 진공 엘리베이터는 진공 공정 자본설비에서 정확하고 HV-호환의 웨이퍼 인덱싱을 제공합니다.
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진공 엘리베이터는 진공 공정 자본설비에서 정확하고 HV-호환의 웨이퍼 인덱싱을 제공하며, 여기서 Material 처리는 로봇의 제한된 수직 이동 능력에 따라 수행됩니다.
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