Genmark Automation의 Porta R6 ™은 자동화된 레티클 로딩에 대해 특별히 설계된 BOLTS 호환 로드포트입니다. Porta R6 ™는 150mm 레티클에 대한 개별 컨테이너를 6개까지 수용할 수 있는 투명 인클로저(Enclosure)를 갖고 있는 특징이 있습니다. 인클로저는 각 컨테이너와 내부의 레티클의 적절한 placement와 presence 감지를 나타내는 스캐닝 센서를 갖고 있습니다. Porta R6 ™에는 전자기 도어락, 서보 작동 레티클 박스 오프너, 분리 도어를 갖고 있으며 이는 완전히 자동화 되고 안전하게 레티클에 접근할 수 있게 합니다.
| Configuration | |
| Compatibility | BOLTS compatible |
| Carrier Types | 6 150mm reticle carriers |
| Wafer Size | 150mm reticles |
| Substrate Type | Reticle |
| Status Indicators | 2 lights - "Placement" and "Action OK" |
| Operator Push Buttons | One Manual Access button |
| Carrier Sensors | Carrier Placement Sensors |
| Wafer Mapping | Reticle presence sensors |
| Physical Properties | |
| Clamping Mechnism | Lockable interlock of the carriers loading door |
| Height |
- 1385mm (54.54 inches) With cart - 1336mm (52.61 inches) Without cart |
| Width | 470mm (18.50 inches) |
| Actuation |
- Servo motor driven carriers opening mechanism - Servo motor driven door opening mechanism |
| Performance | |
| Reliability |
MCBlp > 150K cycles MCBl > 321.877 cycles MTTR 60 minutes Availability 99.89% |
| Speed |
Load 4 seconds Unload 4 seconds |
| Environment | |
| Cleanliness | Class 1 ANSI, when in class 100 environment |
| Standards Compliance | |
| SEMI |
- E15.1: Load Port - S2 Compliance - S8 Ergonomics guideline compliance - E44 Guide for Procurement and Acceptance of Minienvironments - E10 Availablity |
| Other Standards |
- Seismic Stability for UBC Zone 4 area and S2 - EU Machinery Directive - EU Low voltage dir. - EU EMI/ESD - Carrier ID Reader per I300I Factory guideline |
| Reliability per SEMI E10 | |
| MCBF (cycles) | > 1M |
