Genmark Automation의 Porta FOSB™는 300mm 전면 개방 저장 박스(FOSB)에 대해 특별히 설계된 다목적 로드포트입니다. Porta FOSB™는 서보 작동 인클로저를 통해 분리되어 있으며, 이는 웨이퍼와 clean front-end mini-environments에 안전하게 접근할 수 있도록 합니다. 설계의 다기능성을 통해 150mm 혹은 200mm 개방형 Cassette를 수용합니다. 전용 캐리어 감지센서는 로드된 캐리어의 사이즈를 나타냅니다. 내장 컴퓨터와 컨트롤러로 제어되어, 장비와 운영자는 여러 하드웨어 및 소프트웨어 안전 연결장치를 통해 보호됩니다. Porta FOSB™는 모든 해당 SEMI 표준 및 I300I 지침에 따르지만 독특하게 설계되었으며 이 범주의 장비 중에서 청결, 신뢰성, 성능, 기능성에서 새로운 기준을 설정했습니다.
| Configuration | |
| Compatibility | BOLTS compatible |
| Carrier Types |
- FOUP, 25 wafers - 25 wafwers 150mm and 200mm cassettes when using open cassette adaptor |
| Wafer Size | 150mm, 200mm, 300mm |
| Substrate Type | wafer |
| Status Indicators | 2 lights - "Placement" and "Action OK" |
| Carrier Sensors |
- FOUP placement - 150mm carrier placement - 200mm carrier placement |
| Physical Properties | |
| Height | 1336mm (52.30 inches |
| Width | 470mm (18.50 inches) |
| Actuatio |
- Pneumatic (the tilting motion of the loading plate) - Servo motor driven top and side covers |
| Performance | |
| Reliability |
MCBlp > 150K cycles MCBl > 321.877 cycles MTTR 60 minutes Availability 99.89% |
| Speed |
Load 30 seconds Unload 30 seconds |
| Environment | |
| Cleanliness | Class 1 ANSI, when in class 100 environment |
| Standards Compliance | |
| SEMI |
- E15.1: Load Port - S2 Compliance - S8 Ergonomics guideline compliance - E44 Guide for Procurement and Acceptance of Minienvironments - E57 Mech. Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer Carriers - E10 Availablity |
| Other Standards |
- Seismic Stability for UBC Zone 4 area and S2 - EU Machinery Directive - EU Low voltage dir. - EU EMI/ESD - Carrier ID Reader per I300I Factory guideline |
| Reliability per SEMI E10 | |
| MCBF (cycles) | > 1M |
