Genmark의 신규 로봇 시리즈인 G-Rex™는 표준 하중 300mm 및 450mm 웨이퍼 수송 장비 분야에 대한 현재 기술 규격을 다루며, 현재 시장에서 사용할 수 있는 가장 정확하고 처리량이 높은 atmospheric로봇 솔루션입니다.
G-Rex3™ 로봇 시스템은 소규모 풋프린트, 최적의 처리량, 신뢰성, 비용 효율적 패키지로의 서비스 가능성을 제공합니다. 이는 혁신적인 특허 계류 설계, 향상된 제어 접근, EZTeach 기술을 특징으로 하며, 이를 통해 향상된 성능 및 신뢰성을 제공합니다. G- G-Rex3™은 부품 및 동작 구성 부분이 적은 단순화된 저중량 설계입니다. 그 결과 동력이 향상되어 가속과 속도가 더 높아집니다.
G-Rex3™는 설치, 교육, 프로그래밍, 문제 해결이 쉽습니다. G-Rex3™의 다기능성으로 인해 G-Rex3™은 싱글 및 듀얼,arm 듀얼 블레이드 end-effector, 진공 혹은 edge 보유 지지대 등 다양한 장비 분야 및 유연성 있는 맞춤형 구성을 지원합니다.
| G-Rex 3 v.1 | G-Rex 3 v.2 | |
| Configuration | ||
| Wafer Size | up to 450mm | up to 450mm |
| Arm Configuration(s) |
2 Link: 5.25"-5.25; 2 Link: 7-25"-7.25"; 3 Link: 4"-8"-4" |
5.205"-5.205" |
| End Effectors Types | Vacuum, Edge-Gripping, Gravity | Vacuum, Edge-Gripping, Gravity |
| Wafer Mapping | reflective; through-beam | Through-beam at the back side of the EE |
| Physical Properties | ||
| Size (Diameter/Length) | 9.76" (body DIA) and 30.25" | 9.8"/20.94" |
| vert. stroke - body height |
7" - 13.6" 12" - 18.6" 17" - 23.6" 20" - 26.6" |
NA (Grey) |
| Axes | 3 - T, R, Z | 3 - T, R, Z |
| Range of Motion |
T: 500° R: - 5.25'-5.25': [-10.41 - 10.41] - 7.25'-7.25': [-14.5", 14.5"] - 4"-8"-4": [-16", 16"] Z: 7"; 12"; 17"; 20" |
T: 500° R: [-10.41 - 10.41] Z: [10.7"] |
| Performance | ||
| Payload (Dynamic/Static) | 2 lbs | 2 lbs |
| Repeatability |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0/001" |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0/001" |
| Environment | ||
| Cleanliness | ISO Class 1 Compatible | ISO Class 1 Compatible |
| Wafer Contact Material | Vespel, Peek, Teflon impregnated anodized Al, Alumina, Stainless Steel | Vespel, Peek, Teflon impregnated anodized Al, Alumina, Stainless Steel |
| Standards Compliance | ||
| Applicable Directives/Standards |
Machine Directive 89/392/EEC 89/336/EEC (EMC) S2-93A S8-95 |
Machine Directive 89/392/EEC 89/336/EEC (EMC) S2-93A S8-95 |
| Standards to Verify Compliance |
EN 55011 EN 50082-1 EN 60204-1 |
EN 55011 EN 50082-1 EN 60204-1 |
| Reliability per SEMI E10 | >15M MCBF | >15M MCBF |
블랙박스는 로봇 기체 내부에 설치된 작은 전기 장치입니다. 블랙박스는 로봇 작동에 관한 핵심 정보를 수집하고 저장합니다. 보존 정보는 다음과 같습니다.
누적 정보는 예방 유지보수 절차의 요구에 객관적 기준을 제시합니다. 사용 자료는 윤활 일정 혹은 벨트 및 모터 교체에 사용할 수 있습니다. 이러한 정보를 통해 고정된 시기보다는 실제 사용에 근거하여 로봇 보증을 조정할 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 활발하게 사용하지 않을 시 로봇에 대한 보증이 확장될 수 있습니다.
블랙박스는 모든 Genmark Automation 로봇과 호환 가능합니다. 블랙박스는 고유한 인터페이스를 갖고 있으며 로봇 펌웨어의 업데이트를 필요로 하지 않습니다.
