GPR-GB8-SM 은 300m 및 450mm 웨이퍼의 자동화 수송 분야용 정확하고 고성능의 Dual arm robot입니다.
2-링크 arm(R-축)의 global linear motion과 두개의 swapping arms (A1 및 A2 축)의 회전(Y-축)의 결합을 통해 linear track에 로봇을 고정할 필요 없이 4개의 in-line FOUPS 및 치수가 비슷한 공정 모듈들을 최적으로 처리할 수 있습니다.
GPR 특허 기술은 서보 제어 로봇을 통해, 서보 제어 로봇은 misaligned Cassette, FOUPS, 공정 모듈을 유연하고 지능적으로 연결할 수 있게 해줄 뿐만 아니라, 더 무거운 하중의 수송 동안 소프트웨어 제어 end-effector 편차 보정을 할 수 있게 해줍니다.
향상된 로봇 동작 설계 알고리즘을 통해 공정 위치 및 웨이퍼 캐리어에서 원활한 로봇 동작 및 신속한 웨이퍼 swapping을 보증합니다.
| Configuration | |
| Wafer Size | up to 450mm |
| Arm Configuration(s) |
Option 1:O One Global Translation Arm 11.075"-11.075" Two Swapping Arms: 6.45"-6.45" Option 2: One Global Translation Arm 5.95"-11.9"-5.95" Two Swapping Arms: 5.45"-5.45" |
| End Effectors Types |
Arm Configuration 1: Vacuum or Edge Gripping Arm Configuration 2: Vacuum Gripping only |
| Wafer Mapping | through-beam |
| Physical Properties | |
| Size (Diameter/Length) | 14" body diameter |
| Axes | 8: T, R, Y, A1, A2, Z, Z1, Z2 |
| Range of Motion |
T: 500° Global Translation Arms (R axis): - 2 Link 11.075"-11.075": [-21", 21"] - 3 Link 5.95'-11.9'-5.95": [-30.6", 30.6"] Swapping Arms (A1, A2 axes): - 2 Link 5.45"-5.45": [-10.35', 10.35"] - 2 Link 6.46"-6.46": [-8.01, 12.3"] Z: 12.5" Y: 680° |
| Performance | |
| Payload (Dynamic/Static) | 1.5lbs per swapping arm |
| Repeatability |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" A1/A2: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" Y: +/- 0.005° |
| Environment | |
| Cleanliness | ISO Class 1 Compatible |
| Wafer contact Materials | Vespel, Peek, Teflon impregnated anodized Al, Alumina, Stainless Steel |
| Standards Compliance | |
| Applicable Directives/Standards |
Machine Directive 89/392/EEC Low Voltage Directive 73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2-93A |
| Standards to Verify Compliance |
EN 60204-1:1997 EN 55011 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| Reliability | |
| Reliability per SEMI E10 | >15M |
블랙박스는 로봇 기체 내부에 설치된 작은 전기 장치입니다. 블랙박스는 로봇 작동에 관한 핵심 정보를 수집하고 저장합니다. 보존 정보는 다음과 같습니다.
누적 정보는 예방 유지보수 절차의 요구에 객관적 기준을 제시합니다. 사용 자료는 윤활 일정 혹은 벨트 및 모터 교체에 사용할 수 있습니다. 이러한 정보를 통해 고정된 시기보다는 실제 사용에 근거하여 로봇 보증을 조정할 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 활발하게 사용하지 않을 시 로봇에 대한 보증이 확장될 수 있습니다.
블랙박스는 모든 Genmark Automation 로봇과 호환 가능합니다. 블랙박스는 고유한 인터페이스를 갖고 있으며 로봇 펌웨어의 업데이트를 필요로 하지 않습니다.
