300/450mm 웨이퍼의 매우 정밀한 수송에 대해 설계되었고, large FPDs, GPR-GB8 로봇 시스템은 Genmark의 범위의 확대 및 획기적인 GPR 특허 기술을 채택한 하중능력이 결합 되었습니다.
GPR 특허 기술은 서보 제어 로봇을 통해, 서보 제어 로봇은 misaligned massette, FOUPS, 공정 모듈을 유연하고 지능적으로 연결할 수 있게 해줄 뿐만 아니라, 더 무거운 하중의 수송 동안 소프트웨어 제어 end-effector 편차 보정을 할 수 있게 해줍니다.
GPR-GB8 로봇 시스템은 매우 강인하고 구조적으로 재강화된 수송 시스템이며, 450mm 웨이퍼 핸들링 및 대규모 특수 end-effector에 대해 고정 end-effector 등 무거운 적재량을 처리할 수 있습니다.
| Configuration | GB8 | GB8Y |
| Arm Configuration(s) |
2 Link 8"-8" 3 Link 4.425"-8.85"-4.425" 3 Link 5.95"-11.9"-5.95" 3 Link 8.05"-16.1"-8.05" |
2 Link 9.25"-9.25" 3 Link 4.425"-8.85"-4.425" 3 Link 5.95"-11.9"-5.95" 3 Link 8.05"-16.1"-8.05" 3 Link 9.25"-18.5"-9.25" |
| End Effectors Types | Vacuum gripping, Edge Gripping, Gravity | Vacuum gripping, Edge Gripping, Gravity |
| Wafer Mapping | Reflective; through-beam | Reflective; through-beam |
| Physical Properties | ||
| Size (Diameter/Length) | 14" | 14" |
| Axes | 5: T, R, Z, Z1, Z2 | 6: T, R, Y, Z, Z1, Z2 |
| Range of Motion |
T: 500° R: - 8"-8": [-15.2", 15.2"] - 4.425"-8.85"-4.425": [-16.8", 16.8"] - 5.95"-11.9"-5.95": [-22.6", 22.6"] - 8.05"-16.1"-8.05": [-30.7", 30.7"] Z: 12.5", 17", 20", 25" Tilt: 1.5° |
T: 500° R: - 9"-9": [-17.6", 17.6"] - 4.425"-8.85"-4.425": [-16.8", 16.8"] - 5.95"-11.9"-5.95": [-22.6", 22.6"] - 8.05"-16.1"-8.05": [-30.7", 30.7"] - 9.25"-18.5"-9.25": [-35.15", 35.15"] Z: 12.5", 17", 20", 25" Y: 344° Tilt: 1.5° |
| Performance | ||
| Payload (Dynamic/Static) | 5 lb | 5lb |
| Repeatability |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" Y: +/- 0.005° |
| Environment | ||
| Cleanliness | ISO Class 1 Compatible | ISO Class 1 Compatible |
| Wafer contact Materials | Vespel, Peek, Teflon impregnated anodized Al, Alumina, Stainless Steel | Vespel, Peek, Teflon impregnated anodized Al, Alumina, Stainless Steel |
| Standards Compliance | ||
| Applicable Directives/Standards |
Machine Directive 89/392/EEC Low Voltage Directive 73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2-93A |
Machine Directive 89/392/EEC Low Voltage Directive 73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2-93A |
| Standards to Verify Compliance |
EN 60204-1:1997 EN 55011 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
EN 60204-1:1997 EN 55011 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| Reliability | ||
| Reliability per SEMI E10 | >15M | >15M |
블랙박스는 로봇 기체 내부에 설치된 작은 전기 장치입니다. 블랙박스는 로봇 작동에 관한 핵심 정보를 수집하고 저장합니다. 보존 정보는 다음과 같습니다.
누적 정보는 예방 유지보수 절차의 요구에 객관적 기준을 제시합니다. 사용 자료는 윤활 일정 혹은 벨트 및 모터 교체에 사용할 수 있습니다. 이러한 정보를 통해 고정된 시기보다는 실제 사용에 근거하여 로봇 보증을 조정할 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 활발하게 사용하지 않을 시 로봇에 대한 보증이 확장될 수 있습니다.
블랙박스는 모든 Genmark Automation 로봇과 호환 가능합니다. 블랙박스는 고유한 인터페이스를 갖고 있으며 로봇 펌웨어의 업데이트를 필요로 하지 않습니다.
