GPR-GB7-W 로봇 시스템은 습한 조건에서 Material를 처리해야 하는 기타 공정 분야와 CMP의 자동화와 관련하여 습한 환경에 노출되어 내부가 손상되는 것을 막기 위해 밀봉된 메커니즘으로 설계되었습니다.
GPR 특허 기술은 서보 제어 로봇을 통해, 서보 제어 로봇은 misaligned cassette, FOUPS, 공정 모듈을 유연하고 지능적으로 연결할 수 있게 해줄 뿐만 아니라, 더 무거운 하중의 수송 동안 소프트웨어 제어 end-effector 편차 보정을 할 수 있게 해줍니다. Specifications:
| Configuration | |
| Wafer Size | up to 450mm |
| Arm Configuration(s) |
3 Link 6"-12"-6" 2 Link 5.25"-5.25" |
| End Effectors Types | Vacuum, Edge-Gripping, Gravity |
| Wafer Mapping | Reflective; through-beam |
| Physical Properties | |
| Size (Diameter/Length) | 9.8" (body DIA) |
| Z travel - body height |
8" travel - 18" 12.5" travel - 21" 17" travel - 24.5" 20" travel - 27" |
| Axes | 5: T, R, Y, Z, Z1, Z2 |
| Range of Motion |
T: 500° R: - 6"-12"-6": [-22.8", 22.8] - 5.25"-5.25": [-9.975", 9.975"] Z: 8", 12.5", 17", 20" Tilt: 1.5° |
| Performance | |
| Payload (Dynamic/Static) | 2.5lbs |
| Repeatability |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
| Environment | |
| Cleanliness | ISO Class 1 Compatible |
| Wafer contact Materials | Vespel, Peek, Teflon impregnated anodized Al, Alumina, Stainless Steel |
| Standards Compliance | |
| Applicable Directives/Standards |
Machine Directive 89/392/EEC Low Voltage Directive 73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2-93A |
| Standards to Verify Compliance |
EN 60204-1:1997 EN 55011 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| Reliability | |
| Reliability per SEMI E10 | >15M |
블랙박스는 로봇 기체 내부에 설치된 작은 전기 장치입니다. 블랙박스는 로봇 작동에 관한 핵심 정보를 수집하고 저장합니다. 보존 정보는 다음과 같습니다.
누적 정보는 예방 유지보수 절차의 요구에 객관적 기준을 제시합니다. 사용 자료는 윤활 일정 혹은 벨트 및 모터 교체에 사용할 수 있습니다. 이러한 정보를 통해 고정된 시기보다는 실제 사용에 근거하여 로봇 보증을 조정할 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 활발하게 사용하지 않을 시 로봇에 대한 보증이 확장될 수 있습니다.
블랙박스는 모든 Genmark Automation 로봇과 호환 가능합니다. 블랙박스는 고유한 인터페이스를 갖고 있으며 로봇 펌웨어의 업데이트를 필요로 하지 않습니다.
