GB4S 로봇 시스템은 표준 하중 및 처리량 요건에 필요한 장비 자동화 분야에 우수한 성능을 제공하는 고정밀 300mm 웨이퍼 핸들링 로봇입니다.
GB4S는 Genmark의 GB4 로봇과 크기가 동일하며 디자인에서 많은 향상이 이루어져 로봇 성능 및 신뢰성이 향상되었습니다. 싱글 혹은 듀얼 웨이퍼 수송을 위해 공정된 GB4S는 다양한 범위 및 수직 스트로크 조합에 사용 가능합니다.
RPA-0 Remote 프리얼라이너와 함께 사용되는 GB4S 로봇 시스템은 웨이퍼 및 레티클에 대해 매우 정확하고, 고도로 반복적인 Pre-alignment 및 수송 시스템을 제공합니다. 여기에는 신뢰성 있는 Material 처리를 보증하고 웨이퍼 처짐이나 깨짐 등을 개선하기 위해 전용 동작 제어 소프트웨어와 함께 특수하게 설계된 end-effector paddle, aligner chuck, lifting pins를 통해 얇은 웨이퍼 Handling도 포함되어 있습니다. Flipping end-effector 옵션도 또한 사용 가능합니다.
| Configuration | |
| Wafer Size | up to 300mm |
| Arm Configuration(s) | 5.25"-5.25"; 7.25" -7.25"; 4"-8"-4" |
| End Effectors Types | Vacuum, Edge-Gripping, Gravity |
| Wafer Mapping | reflective; through-beam |
| Physical Properties | |
| Size (Diameter/Length) | 9.76" (body DIA) and 30.25" |
| vert. stroke - body height |
7" - 13.6" 12" - 18.6" 17" - 23.6" 20" - 26.6" |
| Axes | 3 - T, R, Z |
| Range of Motion |
T: 500° R: - 5.25"-5.25": [-10.5", 10.5"] - 7.25"-7.25"; [-14.5", 14.5"] - 4"-8"-4": [-16", 16"] Z: 7"; 12"; 17"; 20" |
| Performance | |
| Payload (Dynamic/Static) | 2lbs |
| Repeatability |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
| Environment | |
| Cleanliness | ISO Class 1 Compatible |
| Wafer contact Materials | Vespel, Peek, Teflon impregnated anodized AI, Alumina, Stainless Steel |
| Standards Compliance | |
| Applicable Directives/Standards |
Machine Directive 89/392/EEC Low Voltage Directive 73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2-93A |
| Standards to Verify Compliance |
EN 60204-1 EN 292-1 EN 292-2 |
| Reability | |
| Reliability per SEMI E10 | >15M MCBF |
블랙박스는 로봇 본체 내부에 설치된 작은 전기 장치입니다. 블랙박스는 로봇 작동에 관한 핵심 정보를 수집하고 저장합니다. 보존 정보는 다음과 같습니다.
누적 정보는 예방 유지보수 절차의 요구에 객관적 기준을 제시합니다. 사용 자료는 윤활 사용 일정 혹은 벨트 및 모터 교체에 사용할 수 있습니다. 이러한 정보를 통해 고정된 시기보다는 실제 사용에 근거하여 로봇 보증을 조정할 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 활발하게 사용하지 않을 시 로봇에 대한 보증이 확장될 수 있습니다.
블랙박스는 모든 Genmark Automation 로봇과 호환 가능합니다. 블랙박스는 고유한 인터페이스를 갖고 있으며 로봇 펌웨어의 업데이트를 필요로 하지 않습니다.
