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Genmark의 신규 로봇 시리즈인 G-Rex™는 표준 하중 300mm 및 450mm 웨이퍼 수송 도구 분야에 대한 현재 기술 규격을 다루며, 현재 시장에서 사용할 수 있는 가장 정확하고 처리량이 높은 대기로봇 솔루션입니다.
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Genmark의 신규 로봇 시리즈인 G-Rex™는 표준 하중 300mm 및 450mm 웨이퍼 수송 도구 분야에 대한 현재 기술 규격을 다루며, 현재 시장에서 사용할 수 있는 가장 정확하고 처리량이 높은 대기로봇 솔루션입니다.
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GPR-GB7S 로봇 시스템은 현재 자동화 웨이퍼 핸들러에서 사용할 수 있는 가장 높은 수준의 성능을 얻기 위해 Genmark의 혁신적인 GRP 특허 기술을 채택했고, 이 핸들러는 450mm 지름 웨이퍼까지 핸들링 할 수 있습니다.
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GPR-GB7SY Yaw-축(단일 혹은 이중 yaw) 로봇은 아주 신뢰성 있고 정확하게 450mm 웨이퍼까지 수송할 수 잇는 자동화 웨이퍼 핸들러에서 사용할 수 있는 최고 수준의 성능을 얻기 위해 GPR 및 YAW 특허 기술을 포함한 Genmark의 기술적으로 향상된 메커니즘을 특징으로 하고 있습니다.
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GPR-GB7-W 로봇 시스템은 습한 조건에서 Material를 처리해야 하는 기타 공정 분야와 CMP의 자동화와 관련하여 습한 환경에 노출되어 내부가 손상되는 것을 막기 위해 밀봉된 메커니즘으로 설계되었습니다.
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EVTMHS는 대규모 작업 범위 솔루션이 필요한 반도체 제조 도구에서 300mm 및 450mm 웨이퍼를 수송하기 위해 설계된, 확대된 수직 이동이 가능한 웨이퍼 핸들링 시스템입니다.
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웨이퍼 프리얼라이너를 통합한 GB4P 로봇 시스템은 200mm까지 표준 하중 및 처리량의 웨이퍼 핸들링 처리에 사용할 수 있는 가장 간편한 로봇이자 프리얼라이너 패키지입니다.
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Genmark의 "WET" 공정 웨이퍼 핸들링 로봇, GB4S-W 로봇 시스템은 정밀성, 성능, 신뢰성을 제공합니다.
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300/450mm 웨이퍼 및 대규모 FPD의 극도로 정밀한 수송을 위해 설계된 GPR-GB8 로봇 시스템은 증가된 범위 및 하중 용량을 결합하고, Genmark의 획기적인 GPR 특허 기술을 채택했다.
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GPR-GB8-SM 은 300m 및 450mm 웨이퍼의 자동화 수송 분야용 정확하고 고성능 이중 팔 로봇입니다.
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