Stand-Alone 프리얼라이너는 독립적인 장치이며, substrate 배치의 편심률과 방향을 정확하게 비접촉 상태로 측정합니다. 이는 광범위한 초기 substrate 이동에 대해 높은 얼라이먼트 정확성이 필요할 경우 수많은 substrate 조작 장비와 통합될 수 있습니다. .
Substrate는 로봇 end effector의 형태에 따라 프리얼라이너의 chuck 혹은 옵션널 고정 핀에 놓이게 됩니다. Chuck는 두 개의 서보 축, X 및 Y로 장착되며, 이를 통해 substrate 아래로 이동할 수 있습니다(이는 해당 시점에 핀 위에 고정되어 있습니다). Stand-Alone 프리얼라이너의 동작에는 웨이퍼 이동 측정, 필요 보정의 계산 Notch(혹은 Flat)의 원하는 각도로의 방향지정이 포함됩니다. Chuck 이동의 높은 선명도 및 정확성은 광범위한 substrate 위치 변경에 대해 매우 정확한 얼라이먼트를 보장합니다.
Stand-Alone 프리얼라이너는 align 되어야 하는 substrate의 크기, 모양, 투명성, 두께에 관계없이 광범위한 분야에 사용될 수 있도록 설계되었습니다. 맞춤형 설계 Lighthouse를 통해 견고하고 투명한 대상의 정확하고 신뢰성 있게 측정할 수 있습니다. 내장형 렌즈를 통해 6mm 두께의 substrate까지 허용됩니다. 프리얼라이너는 75에서 300mm 범위의 웨이퍼와 75에서 200mm의 직각 substrate를 측정할 수 있습니다. 위치 이동이 가능한 Lighthouse를 통해 다양한 substrate 크기에 대해 소프트웨어 제어 조정을 할 수 있습니다.
| Works with | Wafer, reticle |
| Wafer size | 3", 100mm, 125mm, 150mm, 200mm, 300mm |
| Flat or Notch Orientation | Flat, Notch |
| Alignment Accuracy | |
| Center Offset | 0.0005" |
| Angular Offset | 0.05" |
| Alignment time |
300mm wafers : 4 sec 200mm wafers and smaller : 3.5 sec |
| Initial Offset Allowance | 0.5" |
| Servo Light-house Gap | 0.35", 0.5" |
| Physical Properties | |
| Vertical travel-body height | No vertical travel |
| Length | 12" |
| Width | 10" |
| Height | 11" |
| Standards Compliance | |
| Applicable Directives/Standards |
Machine Directive 89/392/EEC Low Voltage Directive 73/23/EEC 89/336/EEC (EMC) SEMI S2-93A |
| Standards to Verify Compliance |
EN 60204- 1:1997 EN ISO 12100- 2:2003 RIA R15.06:1999 |
| Reliability | |
| Reliability per SEMI E10 / MCBF | >10M |
