Remote 프리 얼라이너(RPA)는 지능형 로봇 add-on이며, substrate의 편심률과 방향을 정확하게 비접촉 상태로 측정합니다. 이는 material handling 어플리케이션에 substrate 얼라이먼트가 필요할 때, Gencobot 시리즈 4, 7, 8, GPR-SM과 매끄럽게 통합되도록 설계되었습니다.
본 장치는 로봇의 작업 환경 내에 자유롭게 설치할 수 있습니다. 이는 여러 수직 이동 범위로 혹은 수직 이동 없이 설정 가능합니다. Substrate는 로봇의 end-effector의 모양에 따라 프리얼라이너의 chuck 혹은 옵션널 고정 핀에 위치 할 수 있습니다.
프리얼라이너의 동작에는 웨이퍼 이동 측정, 필요 보정의 계산 Notch(혹은 Flat)의 원하는 각도로의 방향지정이 포함됩니다. 방향지정이 완료된 이후에, 로봇은 필요한 Offset 보정을 통해 웨이퍼를 들어올립니다. 시스템 처리량을 최대화하기 위해 컨트롤러는 프리얼라이너와 로봇이 동시에 작동하도록 되어 있습니다 – 웨이퍼가 측정되는 동안 로봇은 다른 작업을 수행할 수 있습니다.
RPA는 substrate의 크기, 모양, 투명성, 두께에 관계없이 광범위한 분야에 사용될 수 있도록 설계되었습니다. 맞춤형 설계 Lighthouse를 통해 견고하고 투명한 대상의 정확하고 신뢰성 있게 측정할 수 있습니다. 내장형 렌즈를 통해 6mm 두께의 substrate까지 허용됩니다. 프리얼라이너는 50에서 300mm 범위의 웨이퍼와 75에서 200mm의 직각 substrate를 측정할 수 있습니다. 위치 이동이 가능한 Lighthouse를 통해 다양한 substrate 크기에 대해 소프트웨어 제어 조정을 할 수 있습니다.
| Works with | Wafer, reticle |
| Wafer size | 2", 3", 3100mm, 125mm, 150mm, 200mm, 300mm |
| Flat or Notch Orientation | Flat, Notch |
| Alignment Accuracy | |
| Center Offset | 0.002" |
| Angular Offset | 0.1 degrees |
| Alignment time | 5 sec |
| Initial Offset Allowance | 0.5" |
| Servo Light-house Gap | 0.35", 0.5" |
| Maximum Vertical Velocity | 20"/s |
| Maximum Vertical Acceleration | 40"/s2 |
| Physical Properties | |
| Vertical travel-body height |
8.5" - 14" 13"- 18.5 16" – 25.35 |
| Length | 12.3" |
| Width | 3.4" |
| Standards Compliance | |
| Applicable Directives/Standards |
Machine Directive 89/392/EEC Low Voltage Directive 73/23/EEC 89/336/EEC (EMC) SEMI S2-93A |
| Standards to Verify Compliance |
EN 60204- 1:1997 EN ISO 12100- 2:2003 RIA R15.06:1999 |
| Reliability | |
| Reliability per SEMI E10 / MCBF | >20M |
