Genmark Automation은 분 시간에서 일반적인 반도체 제조 도구를 조정하는데 필요한 시간을 절감하기 위한 기술을 제공합니다. 이 자동 teaching 기술 혹은 Autoteach는 복잡한 장비 수정 및 고가의 제3자 장비와 같은 형태의 추가적인 운용 투자를 필요로 하지 않습니다. Autoteach는 수동 teaching의 주관성을 제거하여 생산 Material에 대한 안전하고 신속한 조작을 보장합니다.
항상 반도체 장비는 수리 혹은 유지보수 일정 때문이 작동이 정지됩니다. Fab 운영 장비는 추가 수리 비용으로 인한 엄청난 양의 자금을 절감하여 수익이 상실되지 않게 합니다. Automated Material Handler(로봇)의 조정에 상당한 양의 시간이 할당되어 있으며 이는 반도체 장비에서 일반적입니다. 더욱이 이러한 조정이 정확히 수행되지 않으면 로봇은 이동하는 Material에 손상을 줄 수 있으며, 수십만 달러 가치의 제품을 파괴할 수 있습니다.
작동 방법:
Autoteach는 하드웨어 및 소프트웨어 자원을 통해, 픽업위치의 웨이퍼 중앙의 XYZ 절대 좌표를 로봇 제어 시스템이 이해할 수 있는 좌표로 계산합니다. Autoteach는 pickup 위치 좌표를 얻기 위해 지정된 End Effector와 4개의 through-beam 센서(그림 1) – 두 개는 수평, 두 개는 수직 - 을 사용합니다. 수평 센서는 pickup 위치의 웨이퍼 면과 관련된 평면을 정의하는 반면, 수직 센서는 웨이퍼 면에 대해 웨이퍼 중앙을 관통하는 직각 선과 웨이퍼가 pickup위치로 복귀 혹은 이동하는 접근 각도를 정의합니다.
로봇은 사전에 정의된 동작 순서를 실행하여 End Effector로 빔을 교차시키며, 로봇 좌표 프레임에 빔의 좌표가 겹쳐지게 합니다. 겹쳐진 좌표와 빔에 대해 알고 있는 절대 (XYZ) 좌표에 기반하여, Genmark 제어 소프트웨어가 로봇 좌표 공간 내의 웨이퍼 중앙 좌표를 계산합니다.
전체 pickup위치 조정과정은 싱글 로봇 명령에 의해 시작되며, 로봇 컨트롤러에 전달됩니다. 이는 장비의 호스트 소프트웨어의 추가 계산 혹은 개입을 필요로 하지 않습니다. 이는 운영자가 장비의 GUI 터치스크린의 버튼을 두드리거나, Genmark 로봇 제어 유틸리티의 명령 라인에 명령어를 입력하기만 하면 된다는 것을 의미합니다.
평균적으로 5년 간 생산하는 동안 로봇 조정에 약 정지시간이 250시간 누적될 것입니다. 이는 최소 노동에 대해 $50,000의 비용만 소요되며, 잠재적으로 수백만 달러의 수익 손실을 막을 것입니다. ROI가 완료되면, 장비가 생산을 시작할 준비가 되며, Autoteach가 장비 정지시간을 크게 절감하며 수익성을 증가 시킨다는 사실을 고려할 때, Autoteach가 Genmark의 고객들에게 인기 있는 것에 놀랍지 않을 것입니다.
