운영체제: Windows NT, 2000, XP SEMI 표준 지원: E4, E5, E30, E37, E40, E42, E58, E84, E87, E90, E94, E95, E98, E99, E109, E116, E118
하드웨어 장비 지원:
Genmark 통합 프레임워크 기술(GIFT)는 장비 자동화 어플리케이션의 신속한 개발에 사용되는 일련의 소프트웨어 구성품, 도구, 기술입니다. 이는 기성 공장 호스트-컴퓨터 인터페이스를 제공하며, 모든 관련 SEMI 표준을 준수합니다. 이 제품은 향상된 사용자 인터페이스, 광범위한 지원 자동화 하드웨어, 300mm 반도체 공장에 대한 프리셋을 특징으로 합니다.
GIFT는 커스터마이즈 할 수 있는 어플리케이션이며, COM/DCOM, ActiveX, XML, XSLT와 같은 현대 소프트웨어 기술을 활용합니다. 여러분은 이를 통해 자신의 공정 모듈을 통합하고, 프로세스 모니터링 혹은 방법 수정을 위해 어플리케이션 특정 플러그인을 넣거나, 특정 웨이퍼 일정을 설정할 수 있습니다. 고수준 시스템 기능 및 목적은 .NET-원격 및 COM을 통해 쉽게 이용할 수 있습니다(법적 지원)
GIFT에는 다음과 같은 독특한 특성이 있습니다:
새로운 어플리케이션 설계는 GIFT Builder를 사용하여 하드웨어 장비 설정의 규격으로부터 시작합니다. 여러분은 다양한 모델들 중에서 선택하며 로드포트, 로봇, 프리얼라이너, 캐리어, 웨이퍼 ID 리더, E84 인터페이스, 미니환경 콘트롤러를 임의로 지정할 수 있습니다. 커스텀 공정 모듈은 GEM 특정 알람, 이벤트, 변수, 상수와 함께 정의됩니다. GEM Builder는 프로그램 정의, 런타임 설정 자료, GEM 문서화를 생성하기 위해 표준 및 커스텀 라이브러리를 사용합니다.
다음 단계는 GIFT 서버과 여러분의 공정 제어 소프트웨어 사이에 프로그램 인터페이스를 구현하는 것입니다. Genmark Automation에서는 유연한 통합을 위해 VC과 VB, Delphi를 통해 예제를 제공합니다.
GIFT Builder는 시각적인 사용자 인터페이스 설정을 제공하며, 여러분은 이를 통해 어플리케이션에 필요한 관점을 선택할 수 있습니다. 이 지점에서 여러분은 통합에 필수적인 ActiveX 콘트롤을 지정할 수 있습니다.
최종 단계는 웨이퍼-일정 알고리즘의 커스터마이제이션입니다. 상이한 장비 위치 사이의 웨이퍼 전송 규칙은 잘 정의된 XML 규칙을 사용하여 수정할 수 있습니다.
시스템의 핵심은 GIFT 서버입니다. 이는 커스터마이즈 된 사용자 인터페이스와 어플리케이션-프로그래밍 인터페이스 기반 COM을 특징으로 합니다. 공장 호스트와의 통신은 다른 요소 – GEM 엔진을 통해 촉진됩니다. 이는 모든 SECS 교환을 관리하며 자료 추적 및 이벤트 보고와 같은 대부분의 GEM 요건을 시행합니다. 특정 통신 프로토콜을 실행하는 장비 드라이버는 다양한 장비 모듈과의 통신을 지원합니다.
GIFT 서버 설계는 SEMI E98 표준 – 오브젝트 기반 장비 모델 – 을 따른다. 이는 제어되는 장비의 정적 구조를 나타낸다. 캐리어, Substrate, 이것들의 위치뿐만 아니라 공정 및 제어 작업은 동적 오브젝트로 간주됩니다. 모든 오브젝트의 속성, 메소드, 관련 자료구조는 전용 COM 인터페이스를 통해 클라이언트 어플리케이션에 노출됩니다.
작업 실행자는 각각의 공정 모듈에 의해 방법을 실행하는 장비 내부의 내용 수송을 가리킵니다. 작업 실행자의 GIFT 시행은 내용 스케쥴러 및 스케쥴 실행자로 구성됩니다. 작업 정의는 XML 포맷으로 저장됩니다. 이는 XSLT 파일에 설명된 일련의 규칙을 사용하여 스케쥴러에 의해 내용 스케쥴로 번역됩니다. 여러분은 XSLT 변환을 수정하여 작업 실행을 설정할 수 있습니다. 그로 인한 일정은 스케쥴 실행자로 해석된 일련의 명령어들입니다. 이 명령어에는 내용 핸들러에 대한 요청뿐만 아니라 공정 모듈에 대한 요청이 포함되어 있습니다. 설명된 메커니즘은 실행의 단순성과 결합하여 고도의 유연성을 제공합니다. GIFT 서버는 규칙 변경 없이 대다수의 어플리케이션을 포함하는 사전에 정의된 스케쥴 규칙에 따릅니다.
GIFT 서버는 스탠드얼론 어플리케이션으로 사용될 수 있습니다. 이는 SEMI E96 표준을 준수하여 그래픽 사용자 인터페이스를 갖고 있습니다. GUI 구성요소에는 작업 에디터 및 모니터, 내용 추적 인터페이스, 사용자 계정 관리, 각 장비 모듈에 대한 유지보수 스크린, 알람 핸들러, 기타가 포함되어 있습니다. 여러분은 GIFT Builder를 사용하여 특정한 뷰의 존재와 외양을 설정할 수 있습니다.
만약 여러분이 GUI 기능을 수정하기를 원합니다면, ActiveX 컨테이너로 설계된 특수 뷰를 이용할 수 있습니다. 이를 통해 여러분은 GIFT 프레임워크에 여러분이 만든 것이나 상용 ActiveX 콘트롤을 넣을 수 있습니다. 이러한 방식으로어플리케이션의 기능은 쉽게 확장될 수 있는 반면 공통의 외양은 유지됩니다.
GIFT 서버 GUI를 활용하는 또 다른 방법은 전용 COM 인터페이스를 통해 제어하는 것입니다. 여러분은 GIFT Views의 크기, 초점, 시각적 속성을 조절하는 클라이언트 어플리케이션을 프로그래밍할 수 있습니다. 이러한 경우 GIFT 서버는 내용 핸들링하위시스템에 특정 사용자 인터페이스를 제공하는 슬레이브 구성요소로 간주될 수 있습니다.
GIFT 서버는 커스텀 공정 모듈의 통합 전용 인터페이스를내보냅니다. 이는 필요한 COM 이벤트를 제공하여 소프트웨어 엔지니어의 작업을 단순화 시킵니다.. 이들은 특정 기능 요건과 관련된 그룹으로 나뉘어 있습니다:
GEM 지원(원격 명령, 데이터 전송, 집합 이벤트). 포괄적인 VC, VB 예제 소스코드는 시행 과정을 단순화 합니다.
대부분 SEMI 표준을 준수하는 어플리케이션은 CCS 기술과 시험 계획을 사용할 수 있습니다. 내장 시뮬레이션 모드를 통해 실제 하드웨어 없이 역 추적 검사를 실행할 수 있습니다.
공장 호스트 통신 표준에 추가하여, GIFT는 시스템 작동의 모든 측면을 검증하기 위해 400개 이상의 시험 계획에 따릅니다. 이러한 시험을 실행은 완전히 자동화로 할 수도, 수동으로 할 수도 있습니다. 여러분은 전용 시험 사례 브라우저를 사용하여 단일 시험 혹은 시험 그룹에서 출발할 수 있습니다. 문제가 발견된 시험결과는 향후 분석을 위해 검사 보고서에 저장됩니다.
