동작제어 구성요소

상태 동작 제어 특성

• "yaw", "pitch", "roll" 동작 능력 포함하여 다목적 로봇 구조 조정
• 폴리노미얼 스플라인 및 Bernstein-Bezier 커브에 기반하여 S-커브 속도 프로파일링
• 다중 세그먼트 유연 궤도에서 연속 경로 조정
• 다중 축 동기화
• 사용자 정의 속도 프로필에 따라 궤도 조절
• 개방 혹은 폐쇄 루프 메커니즘 역학 모델링
• 특이점 일관된 경로 계획 및 특이점 회피
• 최적 PID 필터 튜닝
• 주변 장비(카세트, 공정 스테이션 등)에 대해 자동 조정
• End Effector 프레임의 특면에서 Tilting 기능
• Arm Scanning 및 Aligning 의 정확성으로 End Effector, 조작 대상 편향 보정
• Through-beam 혹은 Reflective 센서에 기반하여 웨이퍼 매핑
• 웨이퍼 및 FPD의 평면성 및 중앙 자동 감지
• 비접촉 FPD 배치. 경우에 따라 오배치 보정

• 프로그래밍 가능한 이동 한계
• 위치추적 오류 감지
• 증폭기 과부하 보호
• 긴급 정지