Genmark의 SortMax300™은 25년 간의 웨이퍼 핸들링 장비 설계, 개발, 제조 경험의 축적으로 나온 차세대 분류기이며, 소프트웨어 셋업 처리량이 가장 높고, 소유비용이 가장 낮습니다.
잘못 배치된 공정 모듈과 자동으로 상호작용할 수 있으며 높은 하중의 수송 동안 편향 보정을 할 수 있는 특허 GRP 기술을 사용하는 기술 로봇 등의 Genmark 고정밀 로봇을 사용하여 높은 처리량이 달성됩니다.
SortMax300™은 300mm 웨이퍼 및 레티클을 처리하기 위해 설계되었으며, 1에서 5 BOLTS 호환 하중 스테이션 설정에서 카세트와 FOUP의 혼합을 수용하도록 커스터마이즈할 수 있습니다. SortMax300™는 ISO 1등급-미니-환경보다 조금 더 좋으며 이 등급에서 가장 작은 풋프린트를 유지합니다.
Genmark의 ECS300 장비 제어 소프트웨어는 분류, ID, 전송, 압축, 배치, 병합, 분할과 같은 조작 기능을 특징으로 하는 표준 특징을 갖고 있습니다.
| Enclosure | |
| Base Frame | Welded steel, BOLTS compatible load ports. |
| Coating | Baked powder coat |
| Fan Filter | |
| Fan Filter Unit | Per customer specification |
| Filter media | PTFE ULPA 99.99995% @ 0.1 micro meters efficiency |
| Wafer size | up to 300mm |
| Automation | |
| Atmospheric Robot (types) | Grex; GB4S; GB7S; GB8; GB8SM; |
| End Effector (types) | Vacuum gripping, Edge gripping, Gravity |
| Pre-Aligner (types) | Vacuum gripping chuck; edge gripping chuck |
| Wafer Mapping | Through-beam |
| User Interface | Keyboard, mouse, touch screen |
| Software Interface | SEMI E30, E84, E87, E90, E40,E94, E99, E118, E116 |
| Communications | RS232 (SECS-1), Ethernet (HSMS) |
| Physical Properties | |
| Length |
Two load ports - 45'' Three load ports - 66'' Four load ports - 80'' |
| Air Pressure: Relative to Cleanroom Ambient | |
| Port Closed | Spec: 0.01 +/- 0.005 inches w.c. (2.5 +/-0.13 Pa) |
| Load/Unload | Spec: 0.01 +/- 0.005 inches w.c. (2.5 +/-0.13 Pa) |
| ME Recovery time | <38 sec |
| Air flow velocity | 90 +/- 10% ft/min, (0.45 +/-10% m/sec) |
| Standarts Compliance | |
| SEMI |
-SEMI S1-0701 -SEMI S2-1102 -SEMI S7-96 -SEMI S8-0701 -SEMI S9-1101 -SEMI S10-1296 -SEMI S13-0298 -SEMI E15-0698 -SEMI E44-96 -SEMI E54-0997 -SEMI E57-0600 -SEMI E58-0301 -SEMI F47-0400 |
| Other Standards | CE standards, International Sematech Integrated Minienvironmental Best Design Practices. |
| Environment | |
| Cleanliness | Better than Class 1 |
